优势??非接触三维表面轮廓测量??噪音小,测量重复性好??纳米级分辨率:Z轴分辨率比较高可达0.1nm??测量的点云数多:一个面**多可以达到500万个点??点间距小,XY分辨率高??多种视野范围可供选择,快速切换物镜变换视野??测量速度快,可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下,波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中,干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同,根据光的波动性与同调性,所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同,各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息马波斯提供非接触式传感器(测量力小)在内的多种传感器,以及显象或测量计算机。上海Marposs 传感器技术
多个产品同时测量减少成本测量对象可任意摆放,多个产品可同时测量,**节省测量时间,减少用工成本!低畸变图像无变形即便在镜头边缘部位测量,图像畸变也很小,无需担心测量对象所放位置。缺陷过滤测量位置包含有毛边或缺陷时系统能自动识别,排除异常点提高测量的准确度。数据追溯管理更简单测量结果自动保存,可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索,数据追溯管理简单优势:测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头,具有较高的远心度,即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。上海2D 测量传感器原理光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,有需求可以来电咨询!
在半导体行业应用:LED芯片三维测量LED晶圆光学检测BGA半导体封装光伏晶圆表面形貌测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量部件,即使它们位于移动产线上、在高温环境中,甚至易碎或潮湿环境中。由于激光束产生的热量极少,因此测量过程中涂层和部件都不会被损坏或改变。因此,对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用,它也可以系统地测量每个部件。测量通常不到一秒钟,具有高度重复性。这样可以控制高达100%的涂层部件,严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持比较好状
光谱共焦位移传感器原理介绍一束白光点光源,通过色散透镜发生光谱色散,形成不同波长的单色光,每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值(测量范围)。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦,只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到,其他波长的光被挡在小孔之外,通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。面白光干涉传感器白光干涉测量**于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸,其测量精度可以达到纳米级!目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,用户的信赖之选。
非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器。江西Marposs 传感器测量范围
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与2D、2.5D玻璃相比,3D曲面玻璃的优点:?轻薄、透明洁净、抗指纹、抗眩光、耐候性佳。?颜值高,曲面玻璃的弧面边缘高于中框,整个屏幕都显得更加饱满,视觉效果明显优于普通2d屏幕。?出色的触控手感,曲面玻璃与中框180度平滑对接,更符合人体工程学原理,大幅度提高了滑动屏幕的手感。?额外的性能增益,无线充电机能,并能解决天线布置空间不足及增强收讯功能,使产品更美观出色。光谱共焦技术在3D曲面玻璃检测方面的运用因符合3C产品设计需求,3D曲面玻璃的特色蓄势待发,将迎来更大的市场需求。在3D曲面玻璃的生产过程中,在提***、降低成本、提高良率方面提出了更高的要求,光谱共焦技术顺势而为,为3D曲面玻璃的检测提供了一双明亮的眼睛!司逖光谱共焦传感器在玻璃上的胶路检测、玻璃瑕疵、玻璃形貌检测等方面为您保驾护航,提供质量保障!上海Marposs 传感器技术
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